Verlag des Forschungszentrums Jülich
JUEL-3092
König, Frank
Einfluß der Herstellungsparameter auf die Oberflächenrauhigkeit dünner Goldfilme, ermittelt aus der Streuung harter Röntgenstrahlung unter streifenden Winkeln
161 S., 1995
Einleitung
Dünne Schichten spielen sowohl in der Forschung als auch in vielen industriellen Bereichen
eine wichtige Rolle. Die Handhabung duünner Schichten ist insbesondere für Entwicklungen im
Bereich der Infonnationstechnik von immenser Wichtigkeit. Wie das Beispiel der Speicherbausteine
zeigt, ist die Mikroelektronik bereits seit vielen Jahren von einem Trend geprägt, der
allgemein durch die Adjektive "schneller, kleiner und leistungsfähiger" umschrieben werden
Kann. Die hierzu notwendige Zunahme der Integration ist mit einer stetigen Miniaturisierung
der Bauelemente (Transistoren) einhergegangen.
Inzwischen ist man in Bereiche vorgedrungen, wo die einzelnen Schichten der Bauelemente nur
noch aus wenigen Atornlagen bestehen. Dieses hat grundlegenden Einfluß auf die physikalischen
Eigenschaften dieser Schichten. Zum einen liegt es darin begründet, daß die Schichtdicke
vergleichbar ist mit der mittleren freien Weglange und der Fermiwellenlänge der Leitungselektronen
(_10-8 _IO-10m) . Zum anderen gewinnt die Streuung der Ladungsträger an den
Grenzflächen durch das veränderte Verhältnis von Oberfläche zu Volumen zusätzlich an
Gewicht. Es zeigt sich, daB Rauhigkeiten, die nur über wenige Monolagen ausdehnt sind,
bereits zu einer drastischen Verschlechterung der Bauelementeigenschaften führen können
[Fars94]. Ein pragmatischer Ansatz zur Optimierung ist die Bestimmung von Leistungsdaten
wie etwa der Leitfähigkeit oder Beweglichkeit der Ladungsträger in Abhängigkeit von den
Wachstumsparametern Substrattemperatur, Wachstumsrate etc ..
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