Verlag des Forschungszentrums Jülich

JUEL-2993
Birkner, Alexander
Aufbau einer UHV-Kombination von Rasterelektronen- und Rastertunnelmikroskopen. Lokale Untersuchung der Austrittsarbeit an definierten Oberflächen
76 S., 1995

In den Jahren 1981 und 1982 wurde von Binnig und Rohrer mit dem Rastertunnelmikroskop ein neues Instrument fur oberflächenphysikalische Untersuchungen entwickelt, mit dem auf leitenden und halbleitenden Oberflächen eine Abbildung mit atomarer Auflösung möglich ist.
Die Kombination eines Rasterelektronenmikroskopes (REM) mit einem Rastertunnelmikroskop (RTM.l bietet nun darüber hinaus die Möglichkeit, die RTM-Untersuchungen an einem bestimmten Ort der Probe durchzuführen, an den die Tunnelspitzezuvor unter Kontrolle des REM geführt worden ist. Eine solche Kombination wurde erstmals von Gerber et al. im Jahr 1986 vorgestellt und daraufhin in einer Reihe von Arbeitsgruppen für verschiedene Anwendungen mit unterschiedlichem Erfolg aufgebaut. Fur oberflächenphysikalische Untersuchungen mit dem RTM: im Ultrahochvakuum (UHV) sind jedoch die Mehrzahl dieser REM../RTM-Kombinationen nicht ausgelegt.
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Letzte Änderung: 07.06.2022