Verlag des Forschungszentrums Jülich

JUEL-2962
Wohllebe, Andreas
Inselwachstum von Übergangsmetallsiliziden auf Siliziumoberflächen
129 S., 1994

In der Mikroelektronik haben sich Schaltkreise auf Siliziumbasis als Standard durchgesetzt. Deshalb werden Materialien erforscht, mit denen sich neuartige Bauelemente auf Silizium realisieren lassen. Die siliziumreichen Silizide der Übergangsmetalle, die Disilize, haben sich für diese Anwendungen als vielversprechend erwiesen. Sie besitzen eine dem Silizium ähnliche Kristallstruktur und eine hohe thermische und chemische Stabilität...

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