Verlag des Forschungszentrums Jülich
JUEL-2905
Becker, Thomas
Untersuchungen an Supraleiter-Halbleiter Hybridbauelementen im System Niob/Silizium
134 S., 1994
Einleitung
Es ist seit jeher fur die Forschung faszinierend, neben Entwicklungen in abgegrenzten Materialklassen
neue Wege der Kornbination verschiedener Systeme zu beschreiten, Man denke dabei
z. B. an die Kombination von optischer und elektronischer Signalubermittlung und -verarbeitung
(z. B. [Ebe 92]) und so exotische Realisationen wie die Kombination von Neuronen mit
Feldeffekttransistoren [Fro 91]. Ziel ist es, die jeweiligen Vorzuge der einzelnen Materialien in
einem Bauelement zu vereinigen und gegebenenfalls auch neue physikalische Effekte zu
nutzen.
In diesern Sinne wird seit vielen Jahren auch die Kombination von halbleitenden und
supraleitenden Materialien vorgeschlagen und erforscht. Dabei sollen die spezifischen Eigenschaften
des Supraleiters (exzellentes Hochfrequenzverhalten, verlustarme und rauscharme
Signalubertragung, Möglichkeit der Detektion kleinster magnetischer Felder etc.) mit denen
der Halbleiter (gezielte Einstellung der elektrischen Eigenschaften tiber die Dotierung, grosses
Spektrum verstarkender Bauelernente fur analoge und digitale Elektronik etc.) verknupft werden.
Es war Aufgabe dieser Arbeit, grundlegende Untersuchungen zur Kornbination supraleitender
und halbleitender Schichtsysteme innerhalb von Bauelementen und Schaltungen durchzuführen.
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