Verlag des Forschungszentrums Jülich
JUEL-3753
Houben, Lothar
Plasmaabscheidung von mikrokristallinem Silizium: Merkmale der Mikrostruktur und deren Deutung im Sinne von Wachstumsvorgängen
138 S., 2000
Neuerscheinungen
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Letzte Änderung: 07.06.2022